半导体芯片加工废水处理案例|半导体芯片加工废水处理方法
该项目背静
该财产园聚众了十余家半导体设备有关系行业,设计的日操作力5000吨,须得操作来源于不同于行业的交织生活污水。伴随各行业产生技术不同之处大,生活污水成分表很复杂变化无常,操作的难度较高。
生活污水组成成分及特征
生活污水最主要的主要属于四大类:高浓硫酸浓硫酸浓度巧妙生活污水(光刻胶、定影液等)、含氟生活污水(刻蚀加工过程)和酸碱性生活污水(洁净加工过程)。独特成份主要属于异丙醇、四甲基氢脱色铵等难光降解巧妙物,以其氟化物、高锰酸盐指数等无机物环保问题物。生活污水COD下降大(500-3000mg/L),氟化物浓硫酸浓硫酸浓度100-500mg/L,高锰酸盐指数50-150mg/L。
整理制作工艺具体步骤
选择"归类征集+分质加工治理 +聚集淬硬层加工治理 "的科学创新状态:
工业企业外部定义预正确解决:含氟化工废水简单提取并预正确解决
小区污水管道类别气流输送系统性
综合管理缓解池多样化水质标准
两极混疑水解洗去自动隐藏物和溶液
提高效率生态学响应器(HBR)治疗巧妙污染破坏物
臭氧的危害促使氧化物光降解难转化可挥发物
反融于机系统做脱盐加工处理
太阳极为线清洁狠抓溢水安全可靠
特意设计了优酷云数据监测模式软件和自动的加量模式软件,对待水源起伏。
终结治疗效果
设计开机运行几年来,操作的效果比较稳定不靠谱。出水出水COD<30mg/L,氟化物<3mg/L,氧化还原电位<5mg/L,总氮<15mg/L,达到地下水监测Ⅳ类标准单位,要素循环于居民小区防护林带及冷却水塔补水保湿,循环率突破30%。每一年削减剥好水利用约5万吨,为居民小区公司企业节约有水费数百人余万元。