半导体芯片加工废水怎么处理|半导体芯片加工废水如何处理
新项目题材
该半导中小企业地属长半圆区县,主要分娩8厘米和12厘米晶圆,日的进行排放废出水量约2000吨。基于分娩工艺设备比较复杂,废泥中内含多种多样难生物降解有机化合物物和血本属阴阳离子,傳統除理技巧难具备空前坚持原则的的进行排放的标准。
废液组成及來源
焦化废渣通常渠道于十个方式:晶圆水刀切割机焦化废渣包包含巨大硅粉和水刀切割机液无残留;生物学机器打磨抛光焦化废渣比较丰富固体硅和研磨机颗粒物;刻蚀冲洗焦化废渣包包含氟化物、铜正离子等血本属;光刻的工艺焦化废渣则包包含光阻剂等有机化学严重污染物质。饮用水优点和缺点是COD高(800-1500mg/L)、氟化物渗透压高(200-400mg/L)、悬浮物物多且包包含微量分析血本属。
治理生产工艺具体步骤
通过"物理预处里+生化学处里+程度处里"的搭档生产工艺:
调高池均衡教育饮用水质用水量
混泥土析出我们要除浮窗物和橡胶胶体部分元素
化工析出出的法针对性除理氟化物,加药系统钙盐建立氟化钙析出出的
油脂水解硝化作用池增强废渣可生化模式性
接受被氧化池溶解有机会污染问题物
亲水性炭降解塔完成层次加工
膜剥离装置以保证溢水饮用水质保持稳定
针对性含铜电镀废水随便制定阳离子互换软件,环保再生资源回收有价格的金属件铜。
决定视觉效果
的项目建起后操作不稳,出水量COD<50mg/L,氟化物渗透压<5mg/L,铜亚铁离子渗透压<0.3mg/L,哪项指标图均具有国《电子厂工业园水严重污染产生规范》(GB 39731-2020)。年年可限制COD产生约300吨,氟化物产生约50吨,收购铜合金材料约2吨,保证 了生态区域经济经济收益与区域经济区域经济经济收益的共利。