天津某半导体技术集成ic制造厂，晶圆制造环节中会产生含硅、氟的层次性废污水，来设计治理数量1200吨/日。废污水材质繁杂，内含纳米技术级硅颗粒肥料及盐酸，老式治理策略其特性很难达到。 工业废水成份及种类 主要是危害物 ：电解质溶液硅（100-500nm粒度）、氟阳离子（200-300mg/L）、异丙醇 由来工艺 ：晶圆刻蚀废渣（45%）、CMP物理机械的设备制造镜面抛光废渣（40%）、的设备清扫冲洗水（15%） 治理 步奏步奏 信息化主要包括"有机化学沉定+珍禽膜分離"能力路线图： 钙盐沉淀物中 ：污泥脱水氯化钙取除氟化合物（合成CaF2析出） 二沉池作用 ：复合材料水解酸化池剂构建氢氧化铁硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm粒径膜虚报冒领微细颗粒剂 反融入控制系统 ：脱盐率>98%，收旧率75% 汽化凝结 ：浓水段进行氟化物零进行排放 终究疗效 氟化物溶液浓度：<8mg/L（降到国家地区一个标准规定10mg/L） 硅份量：<5mg/L 水环境资源造纸废水处理率：70%用以蒸发塔补水保湿 垃圾以减少：多效蒸发残留物量较常用施工工艺以减少60%