该晶圆营造厂最靠近华北地域,注意生育8屏幕尺寸半导体技术晶圆,单日生活污水直接排缩量上涨约800吨。因为生育整个过程中使用的过多氢氧化钠展开晶圆蚀刻,引发生活污水下氟化物溶液浓度更是高达200-300mg/L,远超发达国家直接减排条件(10mg/L一下)。
生活污水组分及源于
污水最主要的来于4个阶段:
晶圆蚀刻工作
:含高密度氟化物(HF)、氰化钠及少许天价属
检查是否机械化cnc精密机械加工(CMP)废污水
:含納米级硅顆粒、有机会络合剂
设施洁净污水
:含异丙醇、高锰酸盐指数等设计物
处置加工的流程
主要包括"生物乳浊液+混疑乳浊液+长度脱水"三阶段操作装置:
1级处置
:加药氯化钙和氢阳极氧化钙,组成氟化钙放置,氟化物除掉率达85%
中级治疗
:增添PAC(配位聚铝)和PAM(PP酰胺),彻底清除电解质溶液态污染源物
三级分销处置
:借助多导电介质过虑器和活力性炭吸出,出水量氟化物浓度值平稳在8mg/L以上
根本产品涉及到:pH智能调体统、斜管放置池、板框压滤设备(污泥干化脱水烘干)。
决定性作用
该项目运营三年期探测数据文件凸显:
氟化物平均的溶液浓度:7.2mg/L(高出发达国家规范)
COD彻底清除率:92%
污泥干化水分含量率:≤65%
年收回氟化钙副货品约150吨,改变物资化凭借