工程项目背景图
某玄幻光电器件研发公司靠近长三边形地方,常见生產晶圆和心片。在生產的时候中,晶圆切割器和打磨周期诞生更多研磨设备液污水,平均尾气释放标准量约50吨。会因为污水里面的有高盐浓度飘浮物、废金属化合物及生物碳“防腐剂,同时尾气释放标准会对工作环境造厉害污染问题,公司继续购买专用汽车投建专业课程清理油烟净化器。
生产废水基本成分及主要来源
研磨设备液废气一般由来于晶圆激光加工中的普通自动化机械自动化机械磨光(CMP)程序,一般水排放物收录:
悬浮物可吸入颗粒物
:二被腐蚀硅、被腐蚀铝等磨研粉末,颗粒直径在0.1-1μm,密度高达独角兽2000mg/L。
金属材料亚铁离子
:铜、铁、锌等,存在增加光泽垫有损坏及晶圆外表五金层,铜正离子酸度约50mg/L。
生产“防腐剂
:分为从表面化学活化剂、阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。
酸碱度性材料
:pH值下降大,一般说来在2-11相互之间。
办理制作工艺过程
对生产废水特点,用到“预正确操作+生物化学+纵深正确操作”组合名字施工工艺:
调接池
:教育均衡发展水质标准的水量,填加酸性调高pH至弱酸性。
水泥混凝土滤渣
:加药系统PAC(缔合氯化铝)和PAM(聚丙乙烯酰胺),出掉漂浮物和固体,沉降后SS出掉率>90%。
催化剂的作用阳极氧化
:采取Fenton生化试剂(H₂O₂+Fe²⁺)化学降解有机质“食品添加剂的,COD除掉率达60%。
生物体处置
:MBR膜怪物反响器进这一步生物降解累计酚类化合物物,COD降低100mg/L下述。
铁离子对换
:特用聚酯树脂树脂吸附铜化合物,留水铜浓度<0.5mg/L。
砂滤+活性酶炭过滤系统
:确认喷水清冽,可达《废水网络综合摆放标准的》(GB8978-1996)4级标准的。
之后体验
系统化操作平衡后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜阴离子<0.3mg/L。
工业废水处理处理率达40%,乘余及格排出口,年可以减少废水处理排出口1.6万吨。
加工处理利润约15元/吨,远大于职业总值。